冷加工极致精度
采用飞秒激光器，超短脉冲加工几乎无热传导，实现“冷加工”效果。切割无变形、无黑边、无毛刺、精度极高。可对超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、镍合金箔等材料进行微细精密加工，亦可直接对玻璃、硅片、不锈钢等材料做激光划线、刻槽、刻蚀处理，不伤及基材。
JM-G系列手套箱激光封焊系统
无水无氧惰性气体环境中的激光焊接
JM-V系列真空激光封焊系统
可定制真空度的真空激光焊接
无水无氧惰性气体环境中的激光焊接
可定制真空度的真空激光焊接
飞秒·皮秒双平台，于惰性环境中实现微米级无损精密加工
Product Advantages
围绕飞秒冷加工、皮秒紫外广谱材料处理和手套箱惰性环境集成，实现微米级高洁净精密加工。
采用飞秒激光器，超短脉冲加工几乎无热传导，实现“冷加工”效果。切割无变形、无黑边、无毛刺、精度极高。可对超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、镍合金箔等材料进行微细精密加工，亦可直接对玻璃、硅片、不锈钢等材料做激光划线、刻槽、刻蚀处理，不伤及基材。
采用355nm皮秒紫外激光器，紫外冷激光加工几乎无热传导。适用于超薄金属材料（铜、金、银、铝、钛、镍、不锈钢、钼等）、柔性材料（PET、PI、PP、PVC、铁氟龙、电磁膜、胶膜等）、石墨烯、碳纤维、硅片、陶瓷、FPC等广泛材料的切割、打孔、表面微结构（仿生结构）、划线、刻槽处理。
系统可配置飞秒或皮秒激光器。CCD视觉预扫描&自动抓靶定位，XY平台拼接精度≤±3μm。自主开发的软件控制系统，可按客户要求进行各项功能的定制与升级。手套箱集成方案可提供无水无氧惰性环境，彻底杜绝加工过程中的氧化污染，尤其适用于钛合金、镍合金等易氧化高价值器件的精密加工。
Technical Parameters
按材料、加工范围、精度和速度要求快速选型。
| 项目 | 飞秒激光配置 | 皮秒紫外配置 |
|---|---|---|
| 激光器类型 | 波长1064/532/355nm飞秒激光器可选 | 355nm皮秒紫外激光器 |
| 可加工材料 | 银浆、ITO、Cu、玻璃、蓝宝石、陶瓷、超薄金属片、高分子复合材料、硅片 | 超薄金属、非金属薄膜、石墨烯、碳纤维、硅片、陶瓷、FPC、PI、PET、PVC、铁氟龙等 |
| 设备有效加工范围 | 500×400mm（可定制） | 500×400mm（可定制） |
| 聚焦透镜 | 40×40mm / 15×15mm（可定制） | 40×40mm / 15×15mm（可定制） |
| 聚焦光斑 | ≤5μm（视材料而定） | ≤5μm（视材料而定） |
| 最小切线宽度 | ＜10μm（视材料而定） | ＜10μm（视材料而定） |
| 加工产品厚度 | ≤1.5mm | ≤1.5mm（视材料而定） |
| 振镜扫描速度 | ≤3000mm/s | ≤4000mm/s |
| 平台移动速度 | 500mm/s | 500mm/s |
| 工作台定位精度 | ±2μm | ±2μm |
| 工作台重复精度 | ±1μm | ±1μm |
| 可处理文件格式 | 标准Gerber、DXF、PLT等 | 标准Gerber、DXF、PLT等 |
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